掃描電鏡的電子放大倍數(shù)可由十幾倍連續(xù)變化到幾十萬倍。因此可以對樣品的整個表面進行比較仔細的觀察。

SEM掃描電鏡的根本原理是利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征和觀察。

掃描電鏡的工作原理與光學(xué)顯微鏡或透射電鏡不同，在光學(xué)顯微鏡和透射電鏡下，全部圖像一次顯出，是“靜態(tài)”的；而掃描電鏡則是把來自二次電子的圖像信號作為時像信號，將一點一點的畫面“動態(tài)”地形成三維的圖像，是研究三維表層構(gòu)造的有利工具。